연구자 소개
김형재
수석연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7452
- · 전공
- 정밀기계공학 / 박사
- · 이메일
- hyjakim@kitech.re.kr
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등록
다공성 돌출 패턴을 포함하는 화학-기계적 연마 패드 및 그 제조 방법
특허 대한민국 24.02.07 -
등록
연마면에 형성된 패턴 구조를 갖는 연마 패드, 이를 포함하는 연마 장치 및 연마 패드의 제조 방법
특허 대한민국 23.09.13 -
등록
다공성 돌출 패턴을 포함하는 연마 패드 및 이를 포함하는 연마 장치
특허 대한민국 23.08.22 -
등록
패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드
특허 대만 23.06.21 -
등록
다공성 돌출 패턴을 포함하는 화학-기계적 연마 패드 및 레이저를 이용한 그 제조 방법
특허 대한민국 23.05.03