연구자 소개
김형재
수석연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7452
- · 전공
- 정밀기계공학 / 박사
- · 이메일
- hyjakim@kitech.re.kr
-
등록
CMP설비용 컨디셔닝장치
특허 대한민국 20.06.25 -
등록
CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
특허 대한민국 20.06.25 -
등록
웨이퍼 가공상태 확인을 위한 측정방법 및 장치
특허 대한민국 20.06.18 -
등록
공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법
특허 일본 20.05.26 -
등록
웨이퍼용 화학기계연마장치의 패드부 교체 시기 결정 장치 및 이의 제어방법
특허 대한민국 20.05.14