연구자 소개
김형재
수석연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7452
- · 전공
- 정밀기계공학 / 박사
- · 이메일
- hyjakim@kitech.re.kr
-
등록
웨이퍼용 화학기계연마 장치의 패드부
특허 대한민국 20.05.14 -
등록
웨이퍼용 화학기계연마 장치 및 이의 희생부 위치 제어 방법
특허 대한민국 20.05.14 -
등록
연마패드에 대한 가압력 조절이 가능한 씨엠피장치의 컨디셔너
특허 대한민국 20.01.06