연구자 소개
조한철
수석연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7456
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- hc.cho@kitech.re.kr
-
등록
마찰대전 발전소자
특허 대한민국 21.10.07 -
등록
웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 깊이 검출 장치 및 이의 깊이 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11 -
등록
웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 원점 검출 장치 및 이의 원점 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11 -
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 장치
특허 대한민국 21.06.15 -
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 방법
특허 대한민국 21.06.15