연구자 소개
윤종필
센터장
- · 부서
- · 전화번호
- 032-850-0290
- · 전공
- 전자전기공학 / 박사
- · 이메일
- rebirth@kitech.re.kr
-
등록
웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 깊이 검출 장치 및 이의 깊이 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11 -
등록
웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 원점 검출 장치 및 이의 원점 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11 -
등록
인공지능 기반 고장 진단 장치 및 방법
특허 대한민국 21.08.06 -
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 방법
특허 대한민국 21.06.15 -
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 장치
특허 대한민국 21.06.15