연구자 소개
김도연
선임연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7457
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- kdykim@kitech.re.kr
-
등록
만입부를 갖는 돌출 패턴을 포함하는 화학-기계적 연마 패드 및 그 제조 방법
특허 대한민국 23.04.12 -
등록
패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드 및 이의 제조방법
특허 대한민국 22.08.31 -
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기계학습 기반 고장 진단 장치 및 방법
특허 대한민국 22.06.29 -
등록
웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 깊이 검출 장치 및 이의 깊이 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11 -
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웨이퍼에 대한 세정용 브러쉬의 접촉 원점 검출 장치 및 이의 원점 검출 방법
특허 대한민국 21.08.11