연구자 소개
김도연
선임연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7457
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- kdykim@kitech.re.kr
-
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 장치
특허 대한민국 21.06.15 -
등록
웨이퍼 세정용 브러쉬의 수평 보정 방법
특허 대한민국 21.06.15 -
등록
그루브가 형성된 연마용 패드
특허 대한민국 21.02.25 -
등록
연마액의 유동 저항 구조를 갖는 연마용 패드
특허 대한민국 21.02.23 -
등록
마이크로 패턴을 갖는 연마용 패드
특허 대한민국 20.11.30