연구자 소개
김도연
선임연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7457
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- kdykim@kitech.re.kr
-
등록
웨이퍼용 화학기계연마 장치의 패드부
특허 대한민국 20.05.14 -
등록
웨이퍼용 화학기계연마장치의 패드부 교체 시기 결정 장치 및 이의 제어방법
특허 대한민국 20.05.14 -
등록
연마패드에 대한 가압력 조절이 가능한 씨엠피장치의 컨디셔너
특허 대한민국 20.01.06