KITECH

• [RCMS]10nm급 이하 실시간 상태 모니터링 및 제어 가능한 CMP 장비 개발(2/3)

  연구개발기간 : 20210701 ~ 20231231 참여기간 : 20210701 ~ 20231231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국산업기술기획평가원 주관기관 : (주)케이씨텍

• [통합이지바로]전력반도체용 고품질 산화갈륨 기판 가공 기술 개발_4세부(1/3)(1단계)

  연구개발기간 : 20210426 ~ 20251231 참여기간 : 20210426 ~ 20251231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 과학기술정보통신부 전문기관 : 한국연구재단 주관기관 : 한국세라믹기술원

• [RCMS]10nm급 STI용 고신뢰성 CMP 장비 개발(2/3)

  연구개발기간 : 20200801 ~ 20221231 참여기간 : 20200801 ~ 20221231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국산업기술기획평가원 주관기관 : (주)케이씨텍