연구자 소개
양찬우
수석연구원
- · 부서
- 신산업부품화연구부문
- · 전화번호
- 032-8500-258
- · 전공
- 화학공학 / 박사
- · 이메일
- chanu@kitech.re.kr
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등록
광학 거울을 이용한 플라즈마 공정 모니터링 시스템 및 모니터링 방법
특허 대한민국 23.09.26