연구자 소개
이학준
수석연구원
- · 부서
- 지역산업혁신부문(배출저감)
- · 전화번호
- 041-589-8553
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- hak1414@kitech.re.kr
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Development of Air Bearing Stage Using Flexure for Yaw Motion Compensation
ACTUATORS 제1저자 20220401 -
Wafer Hybrid Bonding을 위한 Upper Wafer Handling 모듈 설계 및 제어
반도체디스플레이기술학회지(JOURNAL OF THE SEMICONDUCTOR & DISPLAY TECHNOLOGY) 교신저자 20220325 -
Optimal Design of the Electroadhesion Pad with a Dual-Insulating Layer for Climbing Robots
ACTUATORS 교신저자 20220125 -
Wafer Hybrid Bonding 정밀 정렬을 위한 θz 스테이지 설계 및 제어평가
반도체디스플레이기술학회지(JOURNAL OF THE SEMICONDUCTOR & DISPLAY TECHNOLOGY) 교신저자 20211231 -
Die to Wafer Hybrid Bonding을 위한 Flexure 적용 Bond head 개발
반도체디스플레이기술학회지(JOURNAL OF THE SEMICONDUCTOR & DISPLAY TECHNOLOGY) 교신저자 20211231