¸Ç À§·Î

ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰ°£ÀÇ
¸¶Âû¸¸ ÁÙ¿©µµ ¿¬ºñ UP!

Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø ½ÃÈï»Ñ¸®±â¼ú¿¬±¸¼Ò ģȯ°æ¿­Ç¥¸é󸮿¬±¸ºÎºÐ
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø, ¹ÚÇöÁØ ¿¬±¸¿ø
·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ªÀÇ ÀüÀïÀÌ Áö¼ÓµÇ¸é¼­ °æÀ¯, ÈÖ¹ßÀ¯ °¡°ÝÀÇ ³¡ ¸ð¸¦ »ó½Â¼¼°¡ À̾îÁö°í ÀÖ´Ù.
»ç¶÷µéÀº À¯·ùºñ°¡ ºÎ´ã½º·¯¿ö Â÷¸¦ ¾Æ¿¹ ¿îÇàÇÏÁö ¾Ê°Å³ª, ¿¬ºñ ¿Ã¸®´Â ¹ýÀ» ¾Ë¾Æº¸±â ¹Ù»Ú´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ »óȲ¿¡¼­ Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø(ÀÌÇÏ ¡®»ý±â¿ø¡¯) À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø°ú ¹ÚÇöÁØ ¿¬±¸¿øÀÌ ¼Ò¼ÓµÈ
ģȯ°æ¿­Ç¥¸é󸮿¬±¸ºÎ¹® ¹®°æÀÏ ¼ö¼®¿¬±¸¿ø ¿¬±¸ÆÀ¿¡¼­´Â
ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰÀÇ ¡®ÄÚÆÃ¡¯¸¸À¸·Î ºÎǰ °£ÀÇ ¸¶Âû°ú ±×·Î ÀÎÇÑ ¸¶¸ð¸¦ ÁÙ¿©
¿¬ºñ¸¦ ³ôÀÌ´Â ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀ» À§ÇÑ ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯À» °³¹ßÇϰí,
¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀ» ³»¿¬±â°ü ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰ¿¡ Àû¿ëÇÏ¿© »ó¿ëÈ­±îÁö ¸¶ÃÄ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
öÀ» ºÎǰÀ¸·Î °¡°øÇϱâ ÀüÀÇ Ç¥¸éÀº °ÅÄ£ ÇüŸ¦ ¶ì°í ¸¶¸ð¿¡ Ãë¾àÇÑ Æ¯¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ç¥¸éÀÇ ¸¶¸ð ¹× ¸¶Âû Ư¼ºÀ» Çâ»ó½Ã۱â À§ÇØ ¡®ÄÚÆÃ¡¯À» ÁøÇàÇØ¾ß ÇÑ´Ù. »ç½Ç ÄÚÆÃÀº ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÄÚÆÃÀ» ÇÏ¸é ºÎǰ ¿Ü°üÀÇ »ö»ó ÷°¡»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ¸¶Âû°ú ¸¶¸ð¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ°í Àüµµ¼º, ³»¿­¼º, ³»È­Çмº, ¹ß¼ö µîÀÇ ¼º´É Çâ»ó¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº ±âÁ¸ ÄÚÆÃ¿¡ ºñÇØ ³ôÀº °æµµ¸¦ °¡Á® ÀÚµ¿Â÷¡¤±â°è ºÎǰ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿¬±¸°¡ Ȱ¹ßÈ÷ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ¸» ±×´ë·Î ³ª³ë Å©±âÀÇ °áÁ¤»ó°ú ºñÁ¤Áú»óÀ» Æ÷ÇÔÇÑ 2°³ ÀÌ»óÀÇ ¿ø¼Ò¸¦ ºÎǰ¿¡ ÄÚÆÃÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ¹®°æÀÏ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº 2009³âºÎÅÍ ÁøÇàµÈ ¼ÒÀç ¿øÃµ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ ±â¼úÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¿¡ °üÇÑ ¿øÃµ±â¼úÀ» È®º¸ÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ ¿ø¼Ò¸¦ Ȱ¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ µ¿½Ã¿¡ ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼º ºÎ¿©°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ±×·¸´Ù¸é ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ±â¼úÀÇ ±¹³» °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀϱî?
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÇöÀç ÄÚÆÃ ½ÃÀåÀÇ °æ¿ì ÇØ¿Ü ¼±Áø»çµéÀÌ ÄÚÆÃ ±â¼úÀ» µ¶Á¡Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³» ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰ ¾÷ü°¡ ºÎǰÀ» ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÇϱâ À§Çؼ± ÇØ¿Ü¿¡ ¸¹Àº ·Î¿­Æ¼¸¦ ÁöºÒÇØ¾ß¸¸ ÇÏÁÒ. ÀÌ ±â¼úÀº ÇØ¿Ü ±â¼ú ÀÇÁ¸ ¾øÀÌ ±¹³» ±â¼ú¸¸À¸·Î ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ ±â¼ú
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
»ý±â¿øÀÌ °³¹ßÇÑ ´Ù¼ººÐ
´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù ±â¼ú
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
±âÁ¸ ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº ÁÖ·Î ½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering, Áø°øÁõÂø¹ý)À̶ó´Â ¹æ½ÄÀ» äÅÃÇÑ´Ù. Áø°ø»óÅÂÀÇ Ã¨¹ö (Chamber, Áø°ø½Ç)¾È¿¡ Çö󽺸¶¸¦ ¹ß»ý½Ã۰í, ÀÌ¿ÂÈ­ÇÑ ¾Æ¸£°ï µîÀÇ °¡½º¸¦ °¡¼ÓÇÏ¿© Ÿ°Ù (ÄÚÆÃÀç·á, Targer)¿¡ Ãæµ¹½ÃŲ´Ù. À̶§ ºÐÃâµÈ ¿øÀÚ¸¦ Ç¥¸é¿¡ ÁõÂøÇÔÀ¸·Î½á ÄÚÆÃ¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº º¹ÇÕ¼ÒÀç Áï, Ÿ°Ù(Target)ÀÌ 2°³ ÀÌ»óÀ̱⠶§¹®¿¡ °øµ¿ Áø°øÁõÂø¹ý(Co-Sputtering)À» Ȱ¿ëÇϴµ¥, À̶§ è¹ö ³»ºÎÀÇ ¿©·¯ °³ÀÇ Å¸°ÙÀ» µ¿½Ã¿¡ ÄÁÆ®·ÑÇØ¾ß µÇ¸ç, ÄÚÆÃ ÁõÂø ½Ã°£µµ ¿À·¡ °É¸®°í, Á¶¼º ¼³°è¿¡ ÇѰ谡 ÀÖ´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ¿¡ »ý±â¿ø ģȯ°æ¿­Ç¥¸é󸮿¬±¸ºÎºÐ ¿¬±¸ÆÀÀº ¿©·¯ °³ÀÇ ¿ø¼Ò¸¦ ¡®ÇÑ °³ÀÇ Å¸°Ù¡¯À¸·Î ¸¸µå´Â ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯À» °³¹ßÇß´Ù.
´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÇÕ±Ý Å¸°Ù
»ý±â¿øÀÌ ¿¬±¸°³¹ßÇÑ ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯Àº 2~3°³ ÀÌ»óÀÇ ¿ø¼Ò¸¦ ÇÕ±Ý ºÐ¸»·Î ¸¸µç µÚ ¿­°ú ¾Ð·ÂÀ» °¡ÇØ ´Ù½Ã ÇÑ °³·Î ÇÕÄ£ °ÍÀ¸·Î ¿©·¯ °³ÀÇ ¿ø¼Ò Ÿ°ÙÀ» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ °°Àº È¿°ú¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖ´Ù. À̹ø ¿¬±¸ÆÀ¿¡¼­´Â ´Ù¾çÇÑ ¿ø¼Ò Áß Áú¼ÒºÐÀ§±â¿¡¼­ °æÁú»óÀ» Çü¼ºÇÏ´Â Zr(Áö¸£ÄÚ´½)°ú Àú¸¶Âû Ư¼ºÀ» ³ªÅ¸³»´Â Cu(±¸¸®), ºñÁ¤Áú »óÀ» Çü¼ºÇÏ´Â Si(±Ô¼Ò)°¡ Æ÷ÇÔµÈ 3¿ø°è ÇձݼÒÀ縦 °³¹ßÇØ À±È° ȯ°æ¿¡¼­ ±× È¿°ú°¡ ¹è°¡ µÇ´Â ÄÚÆÃ ¼ÒÀ縦 °³¹ßÇß´Ù.
¹ÚÇöÁØ ¿¬±¸¿øÀº ¡°À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°ÙÀº Zr, Cu, Si¸¦ È¥ÇÕÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ´Â Zr-Cu-Si ¼¼ ¿ø¼Ò°¡ ÀÚµ¿Â÷ À±È° ȯ°æ¿¡ ³ëÃâµÇ¸é ¿£Áø¿ÀÀϰú »óÈ£ÀÛ¿ëÀ» ÇÏ¿© Ç¥¸éÀ» º¸È£ÇÏ´Â Æ®¶óÀ̺¸ Çʸ§(ºÐÀÚ°áÇÕÇǸ·)À» Çü¼ºÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥, ÀÌ Çʸ§ÀÌ ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰµéÀÇ ¸¶¸ð¿Í ¸¶ÂûÀ» ÁÙ¾îµé°Ô ÇØÁÝ´Ï´Ù¡±¶ó°í ÀüÇß´Ù.
´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù ¿¬±¸°³¹ß °úÁ¤¿¡¼­ ÀÚµ¿Â÷ ¿£Áø ºÎǰ Áß ÇϳªÀÎ ¡®ÇǽºÅæ ¸µ¡¯¿¡ Àû¿ëÇØ ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇß´Ù. ÇÏÁß 1000NÀÇ °¡È¤ÇÑ ½ÃÇèȯ°æ¿¡¼­ ±âÁ¸ ÇǽºÅæ ¸µ¿¡ Àû¿ëµÈ CrN ÄÚÆÃÀÇ °æ¿ì 24.56§­ ³ôÀÌÀÇ ÄÚÆÃÃþÀ» ½×À¸¸é 9.27§­ÀÇ ÄÚÆÃÀÌ ¸¶¸ðµÇ¾î 15.29§­¸¸ ³²¾Ò´Ù. ±×·±µ¥ À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°ÙÀ» Ȱ¿ëÇÏ¿© 11.06§­ ³ôÀÌ·Î ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀ» ÇßÀ» ¶§ ´Ü 0.91§­¸¸ ¸¶¸ðµÇ¾î 9.605§­ÀÇ ÄÚÆÃÀÌ ³²¾Æ ÀÖ´Â ¿¬±¸ °á°ú°¡ ³ª¿Ô´Ù.
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°±âÁ¸ ÄÚÆÃ¿¡ ºñÇØ ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰÀÇ ¸¶¸ð¸¦ ¡®75% °³¼±¡¯ÇÏ°Ô µÈ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°¸¶¸ð¿Í ¸¶Âû¸¸ ÁÙ¿©µµ ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¿¬ºñ¸¦ ³ôÀ̱⿡ ÃæºÐÇÏ´Ù¡±¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
¹®°æÀÏ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù Á¶¼º ¹× Á¦Á¶, ´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ¿¡ °üÇÑ ¾à 30°³ ÀÌ»óÀÇ ±¹³»¿Ü ¿øÃµ ƯÇ㸦 º¸À¯Çϰí ÀÖ´Ù.
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÇöÀç °³¹ßµÈ ÄÚÆÃ ±â¼úÀº À±È° ȯ°æ¿¡¼­ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀÌ È®ÀÎµÇ¾î ³»¿¬±â°üÂ÷ ºÎǰ¿¡ Àû¿ëµÇ¾úÁö¸¸, 2030³âºÎÅÍ´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷°¡ ÁÖ·Â »ý»êµÇ´Â ¸¸Å­ »ê¾÷°è¿ÍÀÇ ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Àü±âÀÚµ¿Â÷, Áï ¹«À±È° ȯ°æ¿¡ ³ëÃâµÈ ºÎǰµéÀÇ ³»¸¶¸ð¿Í Àú¸¶ÂûÀ» À§ÇØ Ãß°¡ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¿©·¯ ¿ø¼Ò¸¦ ÇϳªÀÇ ÇÕ±Ý ÇüÅ·Π¸¸µç ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯Àº ÁõÂø °øÁ¤ÀÌ ¸Å¿ì ´Ü¼øÇØÁö¸é¼­µµ Á¶¼º ¼³°è¿¡ ÇѰ谡 ¾ø´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ±×¸¸Å­ ¹ßÀü °¡´É¼ºÀÌ ¹«±Ã¹«ÁøÇØ ÇâÈÄ ÀÚµ¿Â÷¸¦ ³Ñ¾î ¿¡³ÊÁö, ¹ÙÀÌ¿À, ·Îº¿, Ç×°ø µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°ÙÀ» µé°í ÀÖ´Â ¹ÚÇöÁØ ¿¬±¸¿ø°ú À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø

31056 ÃæÃ»³²µµ õ¾È½Ã ¼­ºÏ±¸ ÀÔÀå¸é ¾ç´ë±â·Î±æ 89 Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø TEL : 041-589-8034 FAX : 041-589-8120