öÀ» ºÎǰÀ¸·Î °¡°øÇϱâ ÀüÀÇ Ç¥¸éÀº °ÅÄ£ ÇüŸ¦ ¶ì°í ¸¶¸ð¿¡ Ãë¾àÇÑ Æ¯¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ç¥¸éÀÇ ¸¶¸ð ¹× ¸¶Âû Ư¼ºÀ» Çâ»ó½Ã۱â À§ÇØ ¡®ÄÚÆÃ¡¯À» ÁøÇàÇØ¾ß ÇÑ´Ù. »ç½Ç ÄÚÆÃÀº ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÄÚÆÃÀ» ÇÏ¸é ºÎǰ ¿Ü°üÀÇ »ö»ó ÷°¡»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ¸¶Âû°ú ¸¶¸ð¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ°í Àüµµ¼º, ³»¿¼º, ³»ÈÇмº, ¹ß¼ö µîÀÇ ¼º´É Çâ»ó¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº ±âÁ¸ ÄÚÆÃ¿¡ ºñÇØ ³ôÀº °æµµ¸¦ °¡Á® ÀÚµ¿Â÷¡¤±â°è ºÎǰ ºÐ¾ß¿¡¼ ¿¬±¸°¡ Ȱ¹ßÈ÷ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ¸» ±×´ë·Î ³ª³ë Å©±âÀÇ °áÁ¤»ó°ú ºñÁ¤Áú»óÀ» Æ÷ÇÔÇÑ 2°³ ÀÌ»óÀÇ ¿ø¼Ò¸¦ ºÎǰ¿¡ ÄÚÆÃÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ¹®°æÀÏ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº 2009³âºÎÅÍ ÁøÇàµÈ ¼ÒÀç ¿øÃµ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ ±â¼úÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¿¡ °üÇÑ ¿øÃµ±â¼úÀ» È®º¸ÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ ¿ø¼Ò¸¦ Ȱ¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ µ¿½Ã¿¡ ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼º ºÎ¿©°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ±×·¸´Ù¸é ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ±â¼úÀÇ ±¹³» °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀϱî?
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÇöÀç ÄÚÆÃ ½ÃÀåÀÇ °æ¿ì ÇØ¿Ü ¼±Áø»çµéÀÌ ÄÚÆÃ ±â¼úÀ» µ¶Á¡Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³» ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰ ¾÷ü°¡ ºÎǰÀ» ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÇϱâ À§Çؼ± ÇØ¿Ü¿¡ ¸¹Àº ·Î¿Æ¼¸¦ ÁöºÒÇØ¾ß¸¸ ÇÏÁÒ. ÀÌ ±â¼úÀº ÇØ¿Ü ±â¼ú ÀÇÁ¸ ¾øÀÌ ±¹³» ±â¼ú¸¸À¸·Î ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ ±â¼ú
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
»ý±â¿øÀÌ °³¹ßÇÑ ´Ù¼ººÐ
´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù ±â¼ú
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
±âÁ¸ ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº ÁÖ·Î ½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering, Áø°øÁõÂø¹ý)À̶ó´Â ¹æ½ÄÀ» äÅÃÇÑ´Ù. Áø°ø»óÅÂÀÇ Ã¨¹ö (Chamber, Áø°ø½Ç)¾È¿¡ Çö󽺸¶¸¦ ¹ß»ý½Ã۰í, ÀÌ¿ÂÈÇÑ ¾Æ¸£°ï µîÀÇ °¡½º¸¦ °¡¼ÓÇÏ¿© Ÿ°Ù (ÄÚÆÃÀç·á, Targer)¿¡ Ãæµ¹½ÃŲ´Ù. À̶§ ºÐÃâµÈ ¿øÀÚ¸¦ Ç¥¸é¿¡ ÁõÂøÇÔÀ¸·Î½á ÄÚÆÃ¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃÀº º¹ÇÕ¼ÒÀç Áï, Ÿ°Ù(Target)ÀÌ 2°³ ÀÌ»óÀ̱⠶§¹®¿¡ °øµ¿ Áø°øÁõÂø¹ý(Co-Sputtering)À» Ȱ¿ëÇϴµ¥, À̶§ è¹ö ³»ºÎÀÇ ¿©·¯ °³ÀÇ Å¸°ÙÀ» µ¿½Ã¿¡ ÄÁÆ®·ÑÇØ¾ß µÇ¸ç, ÄÚÆÃ ÁõÂø ½Ã°£µµ ¿À·¡ °É¸®°í, Á¶¼º ¼³°è¿¡ ÇѰ谡 ÀÖ´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ¿¡ »ý±â¿ø ģȯ°æ¿Ç¥¸é󸮿¬±¸ºÎºÐ ¿¬±¸ÆÀÀº ¿©·¯ °³ÀÇ ¿ø¼Ò¸¦ ¡®ÇÑ °³ÀÇ Å¸°Ù¡¯À¸·Î ¸¸µå´Â ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯À» °³¹ßÇß´Ù.
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°±âÁ¸ ÄÚÆÃ¿¡ ºñÇØ ÀÚµ¿Â÷ ºÎǰÀÇ ¸¶¸ð¸¦ ¡®75% °³¼±¡¯ÇÏ°Ô µÈ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°¸¶¸ð¿Í ¸¶Âû¸¸ ÁÙ¿©µµ ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¿¬ºñ¸¦ ³ôÀ̱⿡ ÃæºÐÇÏ´Ù¡±¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
¹®°æÀÏ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù Á¶¼º ¹× Á¦Á¶, ´Ù±â´É¼º ³ª³ëº¹ÇÕÄÚÆÃ¿¡ °üÇÑ ¾à 30°³ ÀÌ»óÀÇ ±¹³»¿Ü ¿øÃµ ƯÇ㸦 º¸À¯Çϰí ÀÖ´Ù.
À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÇöÀç °³¹ßµÈ ÄÚÆÃ ±â¼úÀº À±È° ȯ°æ¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀÌ È®ÀÎµÇ¾î ³»¿¬±â°üÂ÷ ºÎǰ¿¡ Àû¿ëµÇ¾úÁö¸¸, 2030³âºÎÅÍ´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷°¡ ÁÖ·Â »ý»êµÇ´Â ¸¸Å »ê¾÷°è¿ÍÀÇ ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Àü±âÀÚµ¿Â÷, Áï ¹«À±È° ȯ°æ¿¡ ³ëÃâµÈ ºÎǰµéÀÇ ³»¸¶¸ð¿Í Àú¸¶ÂûÀ» À§ÇØ Ãß°¡ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¿©·¯ ¿ø¼Ò¸¦ ÇϳªÀÇ ÇÕ±Ý ÇüÅ·Π¸¸µç ¡®´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°Ù¡¯Àº ÁõÂø °øÁ¤ÀÌ ¸Å¿ì ´Ü¼øÇØÁö¸é¼µµ Á¶¼º ¼³°è¿¡ ÇѰ谡 ¾ø´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ±×¸¸Å ¹ßÀü °¡´É¼ºÀÌ ¹«±Ã¹«ÁøÇØ ÇâÈÄ ÀÚµ¿Â÷¸¦ ³Ñ¾î ¿¡³ÊÁö, ¹ÙÀÌ¿À, ·Îº¿, Ç×°ø µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
´Ù¼ººÐ ´ÜÀÏ ÇÕ±Ý Å¸°ÙÀ» µé°í ÀÖ´Â ¹ÚÇöÁØ ¿¬±¸¿ø°ú À±Çý¿ø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø
¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø