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연구분야
이천규 교수님
이천규
청정공정/
에너지시스템공학
천안
저온공학(Cryogenic Engineering), 줄톰슨(Joule-Thomson) 냉동기, 반도체 공정용 칠러, 혼합냉매(Mixed refrigerant), 복열식 열교환기(Recuperator)

상세정보

  • 직급/직책

    수석연구원

  • 전공

    청정공정/에너지시스템공학

  • 소속

    지속가능기술연구소

  • 부서

    산업에너지연구부문

  • 이메일

    cklee@kitech.re.kr

  • 홈페이지

    -

  • 전화번호

    041-589-8275

학력

2009 / 한국과학기술원 / 학사

2011 / 한국과학기술원 / 석사

2017 / 한국과학기술원 / 박사

대표연구실적

(논문)

Experimental investigation on a non-flammable mixed refrigerant Joule-Thomson refrigerator for a 100 K cooling temperature, Applied Thermal Engineering / 2024

초저온 식각을 위한 냉각용량 2kW 급 -100 °C 비가연성 혼합냉매 줄톰슨 냉각기의 실험적 고찰 / 반도체디스플레이기술학회 / 2024

반도체 식각 공정용 초저온 냉각 시스템 설계를 위한 비가연성 혼합냉매 응축 및 비등 열전달 계수 측정 / 반도체디스플레이기술학회 / 2023

(기술이전)

80℃급 반도체 공정용 초저온 칠러 소형화 기술 / 2024

반도체 공정용 -80℃ 냉각 온도, 6 kW 냉각 용량 기준 혼합냉매 형태의 2단 캐스케이드 사이클 설계 기술 / 2023

반도체 공정용 -40℃ 냉각 온도, 8 kW 냉각 용량 기준 혼합냉매 형태의 증기압축식 사이클 시뮬레이션 및 해석 결과 2종 / 2022

연구과제
수행실적

액체질소의 사용 현장 생산을 위한 극저온 냉동기 및 액화 시스템 개발 (한국산업기술기획평가원, 2024.04 – 2027.12)

자연냉매 적용 –100℃급 고효율 초저온 냉열설비 개발 (에너지기술평가원, 2024.04 - 2028.03)

Chemical 재사용(Recycle)을 통한 사용량 50% 이상 저감 CSB(Chemical Supply Box) 개발 (한국산업기술기획평가원, 2023.07 – 2026.12)

냉각용량 2 kW급 반도체 식각 공정(etching process)용 초저온 냉각 시스템 개발 (한국산업기술기획평가원, 2021.04 – 2024.12)

반도체 제조공정용 -40℃급 친환경 캐스케이드 칠러 개발 (유니셈 민간, 2023.05 – 2024.12)