| 제 목 | 생기원, 반도체 박막 증착 실시간 관찰·분석 시스템 개발 |
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| 출 처 | 전자신문  |
| 게재일 | 2019-09-17 |
| 조회수 | 577 |
전자신문은 우리 원 허훈 수석연구원 연구팀이
웨이퍼 위 박막이 형성되는 전 과정을 볼 수 있는
'화학증착소재 실시간 증착막 측정 시스템'을 개발했다고 전했습니다.
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