한국생산기술연구원(KITECH)

중소기업 반도체 환경설비, 평택서 검증한다

- 생기원, 2일 평택대학교에서 ‘반도체 환경설비 오픈랩’ 개소- 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현, 실증 데이터 확보 □ 한국생산기술연구원(원장 손웅희, 이하 생기원)이 중소·중견기업의 반도체 유해가스 저감설비를 실제 공정 조건에서 검증하는 실증 ‘오픈랩’을 평택에 구축했다.ㅇ 생기원은 11월 2일 평택대학교에서 평택시, 평택산업진흥원과 함께 ‘지·산·연협력 기반 반도체 환경설비 오픈랩 개소식’을 가졌다고 밝혔다. □ 반도체 공장은 제조 과정에서 온실가스와 유해가스를 배출하기 때문에 이를 줄이는 환경설비의 성능과 신뢰성이 중요하다.ㅇ 그러나 관련 설비를 개발하는 중소·중견기업의 경우 개발한 기술을 실제 공정 조건에서 검증할 시설이 없어 성능 입증에 어려움을 겪어 왔다. □ 생기원은 대규모 반도체 생태계가 구축돼 있는 평택에 지역기업들이 함께 활용할 수 있는 실증시설을 갖추기로 하고, 평택시와 평택산업진흥원, ISG와 공동 협력체계를 구축했다.ㅇ 그 결과 문을 열게 된 반도체 환경설비 오픈랩은 중소·중견기업이 보유한 환경기술을 실제 공정에서 검증하고, 사업화로 이끄는 테스트베드 역할을 맡게 된다. □ 이를 위해 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현, 기업이 개발한 오염물질 저감설비의 처리 성능과 운전 안정성을 시험하고, 그 결과를 실증 데이터로 확보할 계획이다.ㅇ 특히 이산화질소(NO₂)와 같은 유해가스가 얼마나 줄었는지 실시간으로 확인할 수 있도록 습식 스크러버, 전기집진기 등의 처리장치와 배기가스 분석기를 구축했다.ㅇ 검증을 마친 기술에 대해서는 수요 기업을 매칭해 지역 반도체 공급망 진입을 돕는 역할도 맡는다. □ 한편 오픈랩 개소식에는 최원용 평택시장, 최준구 평택시의회 기획행정위원장을 비롯한 평택시의회 의원, 정광용 평택산업진흥원장, 이동현 평택대학교 총장, 최태훈 생기원 부원장과 SK하이닉스, SK에코플랜트 등 산업계 관계자 100여 명이 참석했다.

자원안보 시대, 순환경제로 글로벌 공급망 해법 찾는다

자원안보 시대, 순환경제로 글로벌 공급망 해법 찾는다- 19일,‘순환경제 페스티벌’개막, 전문가·기업인 300명 집결- EU 4대 환경규제 본격화에 따른 국내 산업계 대응 전략 논의 □ 세계적인 원자재 무기화 및 유럽연합(EU)의 파상적인 환경 규제로 '글로벌 공급망 위기'가 현실화 되고 있는 가운데, 이를 돌파할 국내 제조업의 생존 전략과 해법이 공개된다. ㅇ 한국생산기술연구원(원장 손웅희, 이하 생기원)은 10월 19일부터 이틀간 서울 양재 엘타워에서 ‘2026 대한민국 순환경제 페스티벌’을 열고, 자원안보 시대의 글로벌 공급망 전략을 제시한다고 밝혔다. ㅇ ‘자원안보 시대, 순환경제가 만드는 새로운 글로벌 공급망’을 슬로건으로 내건 이번 행사에는 자동차, 반도체, 석유화학, 로봇, 전기·전자 등 대한민국 핵심 수출 산업을 이끄는 기업과 유관기관 전문가 300여 명이 집결할 예정이다. □ 경제협력개발기구(OECD)가 올해 4월 발표한 보고서*에 따르면, 2022~2024년 세계 핵심원자재 교역의 약 16%가 한 가지 이상의 수출제한 조치를 적용받았다. * ‘핵심 원자재 수출제한(Export restrictions on critical raw materials)’ 보고서ㅇ 여기에 EU가 포장폐기물 규정(PPWR)과 폐자동차 규정(ELVR)을 연이어 발효하면서, 2030년부터 EU에 수출하는 국내 기업에도 포장재와 차량의 재생원료 사용이 단계적으로 의무화 된다. □ 이에 따라 생기원은 국가청정생산지원센터를 중심으로, 국내 기업의 탄소중립 전환과 규제 대응을 위한 기술 개발, 재생원료 인증, 순환경제 인프라 구축 등 다각적인 산업계 지원을 추진해 왔다. □ ‘대한민국 순환경제 페스티벌’은 그 일환으로, 순환경제 선도 기술과 성공사례를 공유하는 한편 글로벌 통상환경 변화에 대응할 수 있는 소통과 협력의 장으로 자리매김했다. ㅇ 특히 올해 행사는 해외 수출길이 막힐 위기에 처한 국내 기업들에게 보다 직접적이고 실질적인 해법을 제공하는 전략적 전환점이 될 전망이다. ㅇ 단순 전시나 강연 중심에서 벗어나 글로벌 규제 동향과 국내 제도 추진 방안, 그리고 9개 선도기업의 실전 사례를 한자리에서 공유하며 기업 현장에 바로 적용할 수 있는 실질적인 해법을 제시하는 데 중점을 뒀다. □ 행사 첫날(19일)에는 ‘글로벌 순환공급망 컨퍼런스'를 시작으로, 강화되는 통상 환경 변화에 대응하기 위한 정책적·제도적 방안을 제시한다.ㅇ 우선 생기원이 이끌고 있는 민·관 협의체 ‘순환경제 얼라이언스'의 글로벌 공급망 협력 아젠다를 전격 발표할 예정이다. ㅇ 컨퍼런스에서는 EU, 중국 등 주요국의 공급망 전략과 함께 EU 4대 규제*의 최신 동향과 기업 대응 방안을 소개한다. * 에코디자인, 배터리, ELVR, PPWRㅇ 특히 생기원이 자원효율등급제와 재생원료 인증제 추진 방안을 발표한다. ㅇ 이를 통해 기업들의 EU 규제 대응 역량을 높이고, 해외 인증 부담을 줄이는 방안을 함께 논의할 예정이다. □ 둘째 날(20일)에는 산업 현장에서 순환경제를 실천하고 있는 9개 선도기업의 사례 발표가 이어진다.ㅇ 대표적으로 로봇 재제조, 전기·전자제품 순환공급망, 친환경 원료 전환, 폐플라스틱 화학적 재활용, PET·섬유 재생 등 산업 현장에서 검증된 혁신 비즈니스 모델을 공유할 예정이다. □ 손웅희 원장은 “순환경제는 친환경 활동을 넘어, 자원 안보와 공급망 안정, 해외 규제 장벽을 넘어설 산업 경쟁력”이라며 “기업들이 현장에서 체감하는 규제와 재생원료 확보, 사업화의 어려움을 함께 해결하고, 우리 순환경제 기술과 제도가 세계 시장에서 인정받을 수 있도록 적극 지원하겠다"고 말했다.

생기원 '우주 로봇팔·반도체 장비', 올해의 10대 기계기술 선정

생기원 '우주 로봇팔·반도체 장비', 올해의 10대 기계기술 선정- 우주환경 견디는 로봇팔 설계·제작 기술 국내 최초 확보- 반도체 연마·세정 핵심 장치 개발, 국내 장비기업에 기술이전 □ 한국생산기술연구원(원장 손웅희, 이하 생기원)이 개발한 우주 로봇팔과 반도체 연마·세정 장비기술 2건이 '2026 대한민국 올해의 10대 기계기술'에 선정됐다.ㅇ ‘올해의 10대 기계기술'은 한국기계기술단체총연합회가 지난 1년간 국내에서 개발된 기계 분야 우수 기술과 제품을 선정해 수여하는 상으로, 2013년부터 매년 선정해 오고 있다. □ 인간중심로봇연구부문 원대희 수석연구원 연구팀이 개발한 우주 로봇팔 'K-ARM'은 인공위성에 탑재돼 우주잔해물을 포획하고, 다양한 우주 임무를 자율적으로 수행할 수 있도록 설계된 로봇팔이다.ㅇ 수명이 다한 위성 등의 우주잔해물을 포획해 안전한 폐기 궤도로 옮길 수 있으며, 로봇팔 끝의 그리퍼와 다목적 핸드를 임무에 따라 교체하면 고장 위성 수리, 연료 재급유 등 다양한 임무에 활용할 수 있다.ㅇ 발사할 때는 위성 안에 접힌 채 실리고, 궤도에 진입한 뒤 펼쳐져 임무를 수행하는 구조다.ㅇ 연구팀은 또 지상에서 미소중력 환경을 모사해 근접 임무 성능을 시험하는 시스템 ‘K-POS’를 개발, 로봇팔과 위성 탑재 장비의 기능·성능을 발사 전 검증하는 기반 기술도 확보했다. □ 우주에서는 진공과 극한 온도, 방사선, 발사 때의 진동 때문에 지상 산업용 로봇 부품을 그대로 쓸 수 없다. ㅇ 이에 따라 로봇팔을 처음부터 우주급 부품으로 설계·제작했으며, 국내 최초로 우주 로봇팔 기술을 확보하게 됐다. □ 연구팀은 확보한 원천기술을 바탕으로 인증시험모델(EQM)급 K-ARM을 제작했으며, 실제 발사 및 우주 환경을 모사한 진동시험과 열진공시험을 통과해 우주 환경 적합성을 입증했다.ㅇ 한양대학교 최영진 교수 연구팀, ㈜뉴로메카와 공동 개발한 이 탑재체는 현재 국방과학연구소, 한국항공우주연구원과 위성 체계 개발을 위한 기술 협력을 추진하고 있다. □ 극한공정제어그룹 조한철 수석연구원 연구팀은 반도체 웨이퍼 표면을 평평하게 갈아내는 연마(CMP) 공정의 핵심 장치 두 가지를 개발했다.ㅇ 웨이퍼를 문지르는 패드는 쓸수록 닳아 형상이 변화하게 되고, 패드의 형상 변화는 반도체 웨이퍼의 품질에 영향을 미치게 된다. ㅇ 연구팀은 공정 중 패드 두께를 실시간으로 인식하며 두께 편차를 최소화할 수 있는 장치를 개발했다.ㅇ 이와 함께 연마를 마친 웨이퍼의 오염물질을 제거하는 세정 장치의 핵심 구조를 새로 설계해 부피를 70% 이상 줄였다. ㅇ 세정 장치는 줄어든 부피만큼 여러 단으로 쌓을 수 있어 장비가 차지하는 공간은 작아지고 처리량은 늘어나게 된다.ㅇ 연구팀은 또한 힘과 마찰을 감시해 장비 상태를 스스로 진단하는 기능을 넣어 장비의 신뢰성과 공정 안정성을 한층 높였다. □ 한편 연마 공정의 핵심 장치 기술은 2025년 국내 장비 기업에 이전됐으며, 차세대 연마 장비의 핵심 모듈로 탑재해 실증 평가를 진행 중이다.ㅇ 상용화에 성공할 경우 미국과 일본 기업이 세계 시장의 90% 이상을 차지해 온 글로벌 시장을 공략할 수 있을 것으로 전망된다. □ 생기원 손웅희 원장은 "우주 로봇팔의 극한 환경 제어부터 반도체 장비의 외산 장벽 돌파까지, 이번 10대 기계기술 선정은 생기원이 지향해 온 현장 밀착형 실전 기술의 결실”이라며, “앞으로도 국가 전략산업이 글로벌 공급망 위기에 흔들리지 않도록 초격차 원천기술 확보와 사업화에 집중하겠다”고 강조했다.