한국생산기술연구원(KITECH)

한국생산기술연구원이 11월 2일(월), 평택대학교에서 ‘지·산·연 협력 기반 반도체 환경설비 오픈랩 개소식’을 가졌다.

오픈랩은 중소·중견기업이 개발한 반도체 유해가스 저감설비를 실제 공정 조건에서 검증하고, 사업화를 지원하기 위해 구축됐다. 그동안 관련 기업들은 개발한 기술의 성능과 신뢰성을 입증할 실증시설이 부족해 어려움을 겪어 왔다. 

이에 KITECH은 평택시, 평택산업진흥원, ISG와 공동 협력체계를 구축하고, 지역기업들이 함께 활용할 수 있는 반도체 환경설비 실증 기반을 마련했다.

오픈랩은 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현해 기업이 개발한 오염물질 저감설비의 처리 성능과 운전 안정성을 시험한다. 습식 스크러버, 전기집진기 등의 처리장치와 배기가스 분석기를 갖춰 이산화질소(NO₂) 등 유해가스의 저감 효과를 실시간으로 확인하고, 실증 데이터를 확보할 계획이다. 

또한 검증을 마친 기술에 대해서는 수요기업과의 연계를 통해 지역 반도체 공급망 진입을 지원할 예정이다.

이날 개소식에는 최태훈 한국생산기술연구원 부원장, 최원용 평택시장, 이동현 평택대학교 총장, 최준구 평택시의회 기획행정위원장, 정광용 평택산업진흥원장을 비롯해 SK하이닉스, SK에코플랜트 등 산업계 관계자 100여 명이 참석했다.