한국생산기술연구원(KITECH)

- 생기원, 2일 평택대학교에서 ‘반도체 환경설비 오픈랩’ 개소

- 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현, 실증 데이터 확보 

□ 한국생산기술연구원(원장 손웅희, 이하 생기원)이 중소·중견기업의 반도체 유해가스 저감설비를 실제 공정 조건에서 검증하는 실증 ‘오픈랩’을 평택에 구축했다.

ㅇ 생기원은 11월 2일 평택대학교에서 평택시, 평택산업진흥원과 함께 ‘지·산·연협력 기반 반도체 환경설비 오픈랩 개소식’을 가졌다고 밝혔다.

□ 반도체 공장은 제조 과정에서 온실가스와 유해가스를 배출하기 때문에 이를 줄이는 환경설비의 성능과 신뢰성이 중요하다.

ㅇ 그러나 관련 설비를 개발하는 중소·중견기업의 경우 개발한 기술을 실제 공정 조건에서 검증할 시설이 없어 성능 입증에 어려움을 겪어 왔다.

□ 생기원은 대규모 반도체 생태계가 구축돼 있는 평택에 지역기업들이 함께 활용할 수 있는 실증시설을 갖추기로 하고, 평택시와 평택산업진흥원, ISG와 공동 협력체계를 구축했다.

ㅇ 그 결과 문을 열게 된 반도체 환경설비 오픈랩은 중소·중견기업이 보유한 환경기술을 실제 공정에서 검증하고, 사업화로 이끄는 테스트베드 역할을 맡게 된다.

□ 이를 위해 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현, 기업이 개발한 오염물질 저감설비의 처리 성능과 운전 안정성을 시험하고, 그 결과를 실증 데이터로 확보할 계획이다.

ㅇ 특히 이산화질소(NO₂)와 같은 유해가스가 얼마나 줄었는지 실시간으로 확인할 수 있도록 습식 스크러버, 전기집진기 등의 처리장치와 배기가스 분석기를 구축했다.

ㅇ 검증을 마친 기술에 대해서는 수요 기업을 매칭해 지역 반도체 공급망 진입을 돕는 역할도 맡는다.

□ 한편 오픈랩 개소식에는 최원용 평택시장, 최준구 평택시의회 기획행정위원장을 비롯한 평택시의회 의원, 정광용 평택산업진흥원장, 이동현 평택대학교 총장, 최태훈 생기원 부원장과 SK하이닉스, SK에코플랜트 등 산업계 관계자 100여 명이 참석했다.