연구성과명
Clean fitting 부착형 극청정 스테인리스 가스필터 제조기술
연구개발 목표
주요 연구내용
가스필터제작
- 균일유지 분말 포집장치개발(50~80 ㎛)
- 소결필터 금형제작(1/4“, 3/8”, 1/2)
- Connecting fitting 및 하우징 개발
- 피팅+필터+하우징 접합 프로세스 개발
- 바인더에 따른 소결공정개발 및 최적화
: SUS316L:PMMA바인더=65:35에서 14.25의 기공도를 보이는 필터제작
전해연마
- 전해연마 전극 및 지그 설계 및 제작
- 전해공정 설계 및 최적화
: 50 A, 200sec의 전해연마 조건에서 표면결함6.2 ea, 부동태 피막두께 13 Å, CrOx/FeOx ratio 2,07의 우수한 특성을 보여줌 부동태 피막두께를 조금 더 두껍게하기 위해서는 40A의 전류값을 흘려주는 것이 더 유리하나 이의 경우, 표면결함이나, CrOx/FeOx ratio의 값이 1.55정도로 50A를 사용하였을 때보다 다른 특성들의 저하를 보여줌
분석 및 평가
- 가스필터 SEMI기준평가항목 분석(세계 반도체 장비 및 재료협회)
: 표면결함의 경우 SEM을 이용하였으며 1.82㎛ 간격의 grid를 이용하여 결함수 분석하였으며, XPS, AES분석으로 부동태 피막두께 및 CrOx/FeOx ratio를 측정함
- 유량 및 차압 제어기술 개발 및 결과도출
: 여러 사이즈의 fitting뿐만이 아니라 valve테스트도 가능하도록 간이로 유량 및 차압을 측정할 수 있는 테스터기의 설계 및 제작함
가스필터 제작 및 전해연마/부동태 처리 가공기술 개발
- 가스필터 제작: 피팅+필터+하우징 접합, 소결공정개발 및 최적화
- 전해연마/부동태 처리 기술개발: 전해연마 전극 및 지그 설계/조건확립
가스필터 성능평가 방안 확보
주요 연구성과
연구성과명
금속표면처리를 통한 금형 내구성능 향상
연구개발 목표
주요 연구내용
소형정밀센서를 위한 사출금형은 다음의 공정을 통해 내구수명증대를 달성
(1) 100만 shot/월 이상의 무변형 첨단표면처리 도출 및 적용
(2) Burr발생 저감을 위한 내윤활 첨단표면처리 도출 및 적용
표면처리된 부품 시험검증
내구수명검증 test
(25일 → 16개월)
주요 연구성과
