연구자 소개
유경훈
수석연구원
- · 부서
- 자율형제조공정연구부문
- · 전화번호
- 031-8040-6437
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- khyoo@kitech.re.kr
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연구분야
반도체 초청정클린룸, ALD공정장비