연구자 소개
유경훈
수석연구원
- · 부서
- 자율형제조공정연구부문
- · 전화번호
- 031-8040-6437
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- khyoo@kitech.re.kr
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반도체 제조용 전기클린룸의 실내 온도 및 습도에 대한 피드백 동시제어 수치시뮬레이션
Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering 교신저자 20250601 -
반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
대한기계학회논문집 B 교신저자 20230501