연구자 소개
유경훈
수석연구원
- · 부서
- 자율형제조공정연구부문
- · 전화번호
- 031-8040-6437
- · 전공
- 기계공학 / 박사
- · 이메일
- khyoo@kitech.re.kr
-
등록
원자층 복합 증착 장치
특허 대한민국 24.10.11 -
등록
원자층 복합 증착 챔버
특허 대한민국 24.01.03 -
등록
회전형 진공 공정챔버의 씰링 구조
특허 대한민국 22.03.03 -
등록
다중 수분배 방식의 프리쿨링 냉각시스템과 이의 제어방법 및 이를 구비한 프리쿨링 냉각탑
특허 대한민국 20.05.11