연구자 소개
이상직
수석연구원
- · 부서
- 극한공정제어그룹
- · 전화번호
- 051-309-7453
- · 전공
- 정밀기계공학 / 박사
- · 이메일
- sjiklee@kitech.re.kr
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연구분야
초정밀 가공 기술 및 장비기술, 공정해석 및 설계, Wafering Process