KITECH

• [RCMS]반도체 공정 복합 가스 처리용 40% 에너지 절감 촉매·플라즈마 결합형 방전 모듈 개발(1/3)

  연구개발기간 : 20240901 ~ 20281231 참여기간 : 20240901 ~ 20261231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국산업기술기획평가원 주관기관 : (주)뉴파워프라즈마

• [RCMS]적층형 반도체용 다이 소켓 및 테스트 핸들러 개발(1/3)

  연구개발기간 : 20240701 ~ 20270331 참여기간 : 20240701 ~ 20250131 역할 : RAL002 진행상태 : RBA002
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국산업기술기획평가원 주관기관 : (주) 티에스이

• [RCMS]자연냉매 적용 –100℃급 고효율 초저온 냉열설비 기술 개발(2/5)

  연구개발기간 : 20240401 ~ 20280331 참여기간 : 20240401 ~ 20251231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국에너지기술평가원 주관기관 : 씨알케이(주)

• [RCMS]보일러 대체 산업용 180℃급 고온 스팀히트펌프 기술 개발 및 실증(2/3)

  연구개발기간 : 20240401 ~ 20281231 참여기간 : 20250601 ~ 20251231 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국에너지기술평가원 주관기관 : (주)센추리

• [RCMS]Chemical 재사용(Recycle)을 통한 사용량 50% 이상 저감 CSB(Chemical Supply Box) 개발 (3/4)

  연구개발기간 : 20230701 ~ 20261231 참여기간 : 20230701 ~ 20250131 역할 : RAL002 진행상태 : RBA001
  관계부처 : 산업통상자원부 전문기관 : 한국산업기술기획평가원 주관기관 : 한국생산기술연구원